“大陆晴风集团创始人？”

“旗下已有三家上市公司，资产数百亿？内地隐形富豪？”

“白手起家，竟然才26岁？”

看到叶风的资料，张中谋怀疑是不是底下的搞错了？

很快，他就打消了这个念头。

能摆上他案头的，自然是确定无数次的材料。

和叶风的资料一起摆上案头的，还有近期中芯的变化。

“刚刚经历了非典的冲击，中芯就开始量产90n的工艺的芯片了吗？”

“中芯竟然从荷兰阿斯麦公司进口了一台最先进的光刻机。还是今年才从香江维多利亚港装船的。”

“中芯那边有高人啊，居然没有找“光刻机霸主”——东洋的尼康和佳能购买设备，反而找到这家小厂？”

张中谋不得不佩服中芯高人的眼光独到之处。

荷兰的光刻机技术不比东洋差，但是名气要小得多。他们正好需要打破东洋的垄断，只要中芯许之与厚利就能突破《瓦森纳协定》的封锁，从而买到最先进的光刻机。

去年积电代工英特尔最成熟的芯片工艺，就是90n的。

中芯这是追到积电的屁股后面了。

双方的技术代差，只有半代了。

想到这里。

张中谋不慌不忙，吩咐助理“把林苯坚叫来。”

……

不一会，一名50来岁的清瘦男子奉命前来。

此人正是积电技术副总监林苯坚，1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士，在ib一干就是22年，专攻高成像技术。

2000年，林苯坚加入了积电，提出一系列突破性的创新，研发湿法光刻技术。

这项技术和如今的干法光刻技术方案背道而驰，林苯坚还被圈内人吐槽是“挡在航空母舰面前不自量力的飞鸟”。

此方案也遭到了如今“光刻机霸主”东洋佳能和尼康的抵制。林苯坚刚刚提出即遭反对，心情自然是郁闷无比，只得暗自研究相关工艺。

“张总，您找我？”林苯坚进门，就看到张中谋在看资料沉思。

“苯坚呐，你来了。”张中谋闻言抬头，喜道“快请坐。”

待到林苯坚小心地坐下后，张中谋笑道“苯坚啊，你上次申请的湿法光刻技术项目，我研究后很有兴趣，你能对我再讲讲你的看法吗？”

“啊……”

林苯坚闻言又惊又喜，惊的是德高望重的张中谋亲自研究了他的项目方案，喜的是自己终于得到了发挥的机会。

他整理了一下思路，缓缓道“传统的干式光刻法，自1959年发明‘平面积成电路’以来，被持续使用了四十年，然而受限于基本光学衍射，在90年代后期，用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。”

林苯坚坚定地道“我预见昂贵的干式光刻技术将进入死角，所以建议使用湿式光刻，该方法是一种新的光刻工序，透过液体介质置换透镜和晶圆表面之间的气隙以提高光学解析精度。”

“这个我知道，你说的湿式光刻，是浸润式光刻，这个概念在80年代曾有人提出过。但这个概念很原始，距离可实现的方法还很远。”张中谋点头道。

“对，为了优化浸润式光刻系统，我在理论上重新定义并导出了关键性能指标和缩放公式，为极高解析度的三维浸润式光刻光学系统，规范了必须遵行的缩放定律。”

林苯坚道“我还在实验室的研究发现，想要完善浸润式光刻，就是要克服液体中微气泡的形成。还必须要开拓在热力学极限下，经由水而衍射的光刻工序。”

张中谋赫然动容道“如果你的这个设想全部解决，那么在科学和工程上，就证实了湿式光刻方法可用于最先进的ic制程